パワーデバイステストに必要な、高電圧・高電流：～10 KV/～15 KA、ウエハからモジュール、静特性・動特性、研究開発から量産ライン対応の全てを、今日現在及び将来共に同じユーザーインターフェースでオペレーション可能です。ユニークなソフトウエア・ハードウエア構成に依ってそれを可能にしています。

製品概要

コンタクトプローブ先端までをテスターと考えることにより、各種ワーク対応フィクスチュア(治具)を標準的手法で“低Ls”設計可能とし、またリモートテストヘッド（RTH™）技術で、テスター本体から離れた任意のハンドラー・プローバーにケーブルプラグイン化できる構成となっています。それは弊社のLSI™ テクノロジーにより実現したもので、SiのみならずSiC、GaNにも対応する技術です。

製品概要

数ある納入経験から、弊社では標準化したテスター或いはテストシステムの供給が可能です。作業工程毎に単位時間の目標処理数量に基づき検討致します。尚、ウエハから、チップ、半完成基板、封止完成品迄の異なる行程に於いて、動特性(AC,AC+DC)テストを同じテスターにて実施する事を可能としています、従って同一モデルであれば、異なる行程DUTで、より迅速なテストセットアップが可能となります。

製品概要

18 nH と云う‟低Ls”化を実現したLSI™ テクノロジーのお陰で、より高性能化が進む自動車のHybrid/EVエンジン用に代表される新モジュールの標準テストを可能としています。又、PCI™テクノロジーにては、AC テストで最大6 KV 、DC テストで10 KV迄のチップテストを実現しています。